的调试工具，眉头紧锁。步进扫描台是光刻机的核心部件之一，它的任务是将硅片精准地移动到光刻机的曝光区域，每次移动的误差不能超过1微米。
然而，即便是漂亮国，也没有做到微米级的机械加工精度。团队的数控机床技术只能勉强达到几十微米，根本不够用。
“陈主任，这样下去不行，误差太大了！”一位机械工程师擦着额头的汗水，满脸焦急。
陈平安却冷静地说道：“如果现有的机床不行，那就调整方案，用多次校准叠加精度的方法解决。”
他亲自设计了一套“机械校准+人工微调”的方案，将光刻机的扫描台误差逐步降低到10微米以内。虽然这个方案比现代技术笨拙得多，但在当时的条件下，已经是巨大的突破。