，这还是他们第一次把各个步骤整合起来进行实验，也是第一次机器实验。 可领！ 之前的实验他们都是依靠人工进行的，如果这次两台机器的运行成功的话，那么可以碳基芯片产业化的第一阶段也算是成功了，日后这两个工艺步骤只要改装这两台机器就好。 只不过两分钟的功夫，送进去的晶圆泡完了所有的溶液，在众人期待的眼光下被送了出来。 “快，看看碳管的组装情况，另外把印刷机送出来的晶圆放到离子刻蚀机里面。”刘院士连忙指挥起来。 现场的人们顿时忙碌起来，众星捧月般护送着两块晶圆，其中一块送到旁边进行人工检测，另一块则送入刻蚀机进行再次加工。 检测就在现场举行，检测人员在工作台上一番操作之后突然转身，紧接着激动的声音就传了过来：“碳纳米管的组装没有问题，与设计预期完全相符！”